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									TAC공법과 PEO
								

								

									
										

											

												작성자: 정영석
												
																																					조회: 3107													등록일: 2021-11-16												
											

																					

											
								

								

									
								

								

								
									

									

									
									
										
							

							

								
						

						

							
				

				

					
						

							

								
									

									

										
												
												
												
											

									

										
							

						

							
				

			

				
	

	

		
			
			

        

         
      

				

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							박헌준
							1
							2023-08-22
						

						

							
				

				

					
						
  

							
				

				

					
		

		

			




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						 TAC공법과 PEO [2] 
					
					
						

						

							정영석
							3108
							2021-11-16
						

						

							
				

				

					
						
수고하십니다.반도체 장비 회사 개발설계팀 정영석입니다.저희 장비의 chamber내부의알루니늄에 아노다이징되어있는 부분을 PEO(Plasma Electrolytic Oxidation)라는플라즈마 전해산화처리로 변경하려고 합니다.이에...  

							
				

				

					
		

		

			



				
				

				

				

				

					
						

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